使用質(zhì)量流量控制器注意事項
使用質(zhì)量流量控制器有四怕:
怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計會(huì )堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;
第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì )造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統進(jìn)行干燥處理;
第四怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。
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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。
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使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶(hù)使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源,氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶(hù)需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通??梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì )變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會(huì )影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶(hù)要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購買(mǎi)高溫MFC產(chǎn)品。
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